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超純水之定義

DI=Deionized?,?DI?Water?=?Deionized?Water，為去離子之意，亦即通稱之純水(PURE?WATER)，近來由于半導體制程對設計規則之需求朝更精密更細小的趨勢發展，因而對純水水質的要求也越趨嚴格，在此嚴格水質要求下所制造出來稱之超純水(Ultra-pure?water)。

其狹義之意：為去離子之水，將水中之離子(如Na+、Ca2+、Mg2+、Al3+、C1-、F-、SO42-、NO3-、etc.)?予以去除，降低其離子濃度，提高水之電阻值(Ω·cm)。
其廣義之意：為除了除去水中離子之外，亦將水中之SiO2，顆粒物，細菌，有機物，微生物一并給予有限度的去除，使水達到完全純凈的程度，而用于電子工業之上。

18MΩ·cm超純水制備工藝

自來水進入原水箱，通過原水泵增壓，經砂濾器、炭濾器、阻垢劑加藥、保安過濾器，到達反滲透單元，經兩級反滲透過濾進入EDI單元，達到電阻率15MΩ·cm（25℃）進入純水水箱。純水供水設計為循環方式，經純水供水泵增壓，通過紫外線消毒器、拋光混床Tulsimer? MB 106 UP、0.22微米過濾器接入純水供水管，到達使用點。

2.1 預處理單元

采用石英砂過濾、活性炭過濾、保安過濾作為兩級反滲透的預處理。

2.2 反滲透模塊單元

反滲透膜是以壓力差為驅動力的液相膜分離方法，可以看作是滲透的一種反向作用。在壓力推動下，溶液中的水分子透過膜，而其它分子、離子、細菌、病毒等被截留，從而實現脫鹽效果，達到純化目的。
整個反滲透系統由高壓泵、反滲透膜、壓力容器以及相應的儀器、儀表、閥門、機架、管道及管件等組成；此外還有獨立的化學清洗裝置。

2.3 EDI模塊單元

EDI技術是將膜法和離子交換法結合起來的新工藝，基本原理主要包括離子交換、直流電場下離子的選擇性遷移及樹脂的電再生。水中的離子首先通過交換作用吸附于樹脂顆粒上，再在電場作用下經由樹脂顆粒構成的“離子傳輸通道”遷移到膜表面并透過離子交換膜進入濃室。由于離子的交換、遷移及離子交換樹脂的電再生相伴發生，猶如邊工作邊再生的混床離子交換樹脂柱，因此可以連續不斷地制取高質量的純水、高純水。
EDI系統由增壓泵、膜堆、電源以及相應的儀器、儀表、閥門、機架、管道等組成。

2.4 拋光混床模塊單元

超純水終端混床樹脂是在極其嚴格的工藝控制條件下制成的，樹脂經過特別的處理，再生轉型已接近極限化，故具有極高的再生效率和極低的雜質含量，并具有強的交換能力和很高的機械強度。高純水終端混床樹脂無需再生，就可廣泛應用于電子工業高純水制備；實驗室高純水；高效液相色譜用高純水；含放射物處理；藥品；半導體行業；凝結水精制以及其它各種水處理工藝的終端混床精處理。高品質的混床樹脂可確保出水水質達到穩定，產水水質16~18.2MΩ，生產極高質量的高純無硅純水。

2.5 供水單元

純水供水循環采用254nm紫外線殺菌、拋光混床脫鹽、0.22微米過濾，達到用戶的純水水質要求。

為保證純水的品質以及生物學指標，在純水制備的終端設置精度為0.22μm的微濾膜過濾器，用于截留去除脫鹽設備出水中的微粒以及細菌尸體。由于0.22μm的微濾膜膜過濾器為整個脫鹽工藝的最后一道處理設備，因此又稱終端過濾器。過濾器內裝折疊式微孔濾膜，過濾精度0.22μm，過濾器出口設置壓力表。過濾器經過一段時間的運行后，濾膜表面截留了大量雜質，使濾膜堵塞，導致工作壓力增加，當進出口壓力差增大到某一設定值時，更換濾膜。

終端過濾器由罐體、0.22μm濾芯、壓力表組成。

附錄：

● Tulsimer? MB 106 UP 核子級超純水混床樹脂（拋光樹脂）

適用于生產半導體集成電路、顯示器、硬盤、CD﹣ROM等用水。在進水得到充分的處理及合理的混床設計情況下，Tulsimer? MB 106 UP的出水電阻率能達到>18.25MΩ。